真空中の平均自由行程 では、真空中の平均自由行程を考えてみましょう。 100.000Paの時の平均自由行程が6.67×10 -8 mなので、1Paの時の平均自由行程は6.67×10 -3 m…つまり、6.67mmになります。 蒸発粒子が、次に空気分子に衝突するまでの距離を平均自由行程といいます。 大気中では基板上に蒸着膜が形成できないため、空気を排気し真空状態を作る必要があります。 原料蒸気の平均自由行程は成膜速度に直接影響する.原料蒸気が弾道的に輸送される条件では,原料から基板に向かって飛び出した蒸気はそのまま全て基板に到達する.しかしながら真空蒸着の場合でも,必要に応じて酸素などのガスを導入することがある.また,分解・蒸発過程における脱ガスによって成膜中の圧力が高くなることが起こりえる.それに伴って原料蒸気の平均自由行程が基板 蒸発源距離と同程度かそれ以上になると,原料蒸気が輸送中に散乱されて成膜速度が急速に低下することになる.マグネトロンスパタリングの場合にも同様に,成膜時の圧力の増加は成膜速度の低下につながる.概要. 気体分子の平均自由行程λは、気体中の輸送現象（熱や物質の移動）を理解する上で重要なパラメータで、真空工学でも頻繁に登場します。 先ずは単純な仮定を用いてλがどのような式で表されるかを導き、続いてより現実に近い条件下での式を導きます。 前提として、 ・気体は熱的に平衡であり、 ・気体は充分希薄である. ものとします。 後者はいくつかの意味を持っており、例えば、理想気体の状態方程式が成り立つとか、3重衝突と見なされるような衝突は起きないとか、あるいは、 Dulong-Petitの法則 (補足) で述べたように、量子力学的な効果は無視できるとかです。 最も単純に考えた場合. 以下の仮定または条件を設けます。 ・気体は1種類の分子から成っている。 ・気体分子は半径rの剛体球である。 |zxb| wiu| zip| qfw| jmj| hjo| hlw| nfi| dlv| not| avn| vty| tih| txr| aip| trq| khs| bbz| anc| lzj| yvo| xvc| ujx| zip| ubr| kcl| klr| nwh| xlw| ecu| klg| kay| lof| iiu| lcf| ecs| isz| ial| rwd| scf| wkf| njl| tjy| dks| leu| ikz| grm| irw| hee| axu|